Die drei Maare liegen in einer Vulkangruppe nebeneinander aufgereiht von NW nach SE.
Sie sind nacheinander entlang einer geologischen Störungslinie entstanden und die vulkanische Tätigkeit wanderte von NW nach SE. Die Hitsche ist damit das älteste, das Holzmaar das jüngste Maar innerhalb dieser Gruppe.
Die drei Maare sind während der Weichsel-Kaltzeit entstanden und sind vermutlich älter als 20.000 Jahre.
Die Altersabfolge der drei Maare lässt sich aus der Überlagerungsfolge der Tuffe ableiten, da die Tuffe der Hitsche von den Tuffen des Dürren Maares überdeckt und die Tuffe des Dürren Maares wiederum durch die Tuffe des Holzmaares überlagert werden.
Die Hitsche ist das kleinste Eifelmaar mit einem Durchmesser von etwa 60 m und einer Tiefe von 5 m. Es lässt sich gerade noch als fast rundliche, mit Simsen und Seggen bestandene Senke zwischen den Feldern erkennen. Die Verfüllung und die damit verbundene Austrocknung der Hitsche wurde wegen seiner geringen Größe beschleunigt.
Das Dürre Maar liegt etwa 140 m SE von der Hitsche und ist ein Trockenmaar, dass sich im Hochmoor-Stadium befindet. Es ist eine Fundgrube für Botaniker und Ornithologen.
Etwa 400 m SE vom Dürre Maar liegt das Holzmaar, dessen Verlandungsprozess aufgrund seiner Größe noch nicht so weit fortgeschritten ist wie bei den beiden kleineren Maaren. Das Südufer besitzt aber bereits eine breite Verlandungszone mit wertvollen Pflanzengesellschaften. Die Umgebung um das Holzmaar steht unter Naturschutz.